Halbleiterwafer-Transport

Halbleiterwafer-Transport

Halbleiterwafer-Transport

Die Kundenbedürfnisse

Der mobile Manipulator (MOMA) zählt zu den wichtigsten Entwicklungstrends in der Robotik der nahen Zukunft. Er funktioniert ähnlich wie das Anbringen von Beinen an einem Cobot, wodurch dieser sich leichter, freier und schneller fortbewegen kann. Der TM-Cobot ist die optimale Lösung für den mobilen Manipulator, da er den Roboter dank seiner international patentierten Landmark-Technologie und der integrierten Bildverarbeitung präzise ausrichten und in die exakte Position für alle nachfolgenden Aktionen führen kann. Dies spart Ihnen erheblich Zeit und Kosten für die Entwicklung eigener Bildverarbeitungssysteme.
MOMA ist äußerst schnell und nicht auf den Arbeitsbereich beschränkt. Gleichzeitig interagiert es sicher mit den im selben Raum arbeitenden Personen mithilfe von Cobots, Sensoren, Laser-Radar, voreingestellten Routen, aktiver Hindernisvermeidung und optimierten Algorithmen. MOMA erledigt Transport-, Be- und Entladeaufgaben an verschiedenen Arbeitsstationen mit Bravour.

TM Mobile Manipulator Vorteil

1. Schneller Aufbau, benötigt nicht viel Platz

2. Automatische Routenplanung mithilfe von Laserradargeräten und optimiertem Algorithmus

3. Zusammenarbeit zwischen Mensch und Roboter

4. Einfache Programmierung zur flexiblen Erfüllung zukünftiger Anforderungen

5. Unbemannte Technologie, Bordbatterie

6. 24-Stunden-Betrieb ohne Aufsicht durch automatische Ladestation

7. Die Umschaltung zwischen verschiedenen EOATs für den Roboter wurde realisiert.

8. Dank der integrierten Bildverarbeitung am Cobot-Arm entfällt der zusätzliche Zeit- und Kostenaufwand für die Einrichtung der Bildverarbeitung des Cobots.

9. Durch integrierte Bildverarbeitung und Landmark-Technologie (Patent des TM-Cobots) wird eine präzise Ausrichtung und Bewegung realisiert.

Lösungsmerkmale

(Vorteile kollaborativer Roboter beim Transport von Halbleiterwafern)

Hohe Präzision

Cobots erreichen eine Genauigkeit im Submikrometerbereich beim Wafer-Handling, wodurch Fehler reduziert und die Qualitätsstabilität verbessert werden.

Effiziente Automatisierung

Sie arbeiten rund um die Uhr mit minimalen Ausfallzeiten und verbessern so die Anlagenauslastung und Produktionseffizienz.

Flexibilität

Cobots können sich durch den Austausch der Endeffektoren und eine Umprogrammierung an unterschiedliche Wafergrößen und Aufgaben anpassen.

Sicherheit und Sauberkeit

Die für Reinraumbedingungen konzipierten Cobots gewährleisten hohe Reinheitsstandards und reduzieren das Kontaminationsrisiko.

Kosteneffizienz

WährendDurch die Reduzierung der Arbeitskosten minimieren Cobots Fehler und Nacharbeiten und verbessern so die Gesamteffizienz der Produktion.cy.

Mobilität und Vielseitigkeit

MobileCobots können sich zwischen Arbeitsstationen bewegen und mehrere Aufgaben gleichzeitig übernehmen, was die betriebliche Flexibilität erhöht.

Echtzeitüberwachung

Ausgestattet mit Sensoren und Bildverarbeitungssystemen liefern Cobots Echtzeit-Feedback und optimieren Prozesse dynamisch.

Reduzierter menschlicher Eingriff

Cobots automatisieren den Wafertransport und minimieren so den menschlichen Kontakt und die Kontamination.

Verwandte Produkte

      • Maximale Nutzlast: 16 kg
      • Reichweite: 900 mm
      • Typische Geschwindigkeit: 1,1 m/s
      • Höchstgeschwindigkeit: 4 m/s
      • Wiederholgenauigkeit: ± 0,1 mm
      • Maximale Tragfähigkeit: 1000 kg
      • Umfassende Akkulaufzeit: 6 Stunden
      • Positioniergenauigkeit: ±5, ±0,5 mm
      • Rotationsdurchmesser: 1344 mm
      • Fahrgeschwindigkeit: ≤1,67 m/s
        • Greifkraft: 3–5,5 N
        • Empfohlenes Werkstückgewicht: 0,05 kg
        • Hub: 5 mm
        • Öffnungs-/Schließzeit: 0,03 s
        • IP-Klasse: IP40